在过去相当长一段时期，由于受到西方国家的禁运限制，我国进口国外超精密机床严重受限。但当1998年我国自己的数控超精密机床研制成功后，西方国家马上对我国开禁，我国现在已经进口了多台超精密机床。

我国北京机床研究所、航空精密机械研究所(航空303)、哈尔滨工业大学、国防科技大学等单位现在已能生产若干种超精密数控金刚石机床。

北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达0.025μm的精密轴承、jcs—027超精密车床、jcs—031超精密铣床、jcs—035超精密车床、超精密车床数控系统、复印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、超精密振动-位移测微仪等，达到了国内领先、国际先进水平。

nam-800 型纳米数控车床是北京机床研究所最新一代的纳米级加工机床。它是当今数控技术、伺服技术、机械制造技术完美的统一。该机床为我国最前沿的科技发展提供了良好的加工手段。

航空精密机械研究所在超精密主轴、花岗岩坐标测量机等方面进行了深入研究及产品生产。哈尔滨工业大学在金刚石超精密切削、金刚石刀具晶体定向和刃磨、金刚石微粉砂轮电解在线修整技术等方面进行了卓有成效的研究。

清华大学在集成电路超精密加工设备、磁盘加工及检测设备、微位移工作台、超精密砂带磨削和研抛、金刚石微粉砂轮超精密磨削、非圆截面超精密切削等方面进行了深入研究，并有相应产品问世。

此外， 中科院长春光学精密机械与物理研究所、华中理工大学、沈阳第一机床厂、成都工具研究所、国防科技大学等都进行了这一领域的研究， 成绩显着。

但总的来说， 我国在超精密加工机床的效率、精度、可靠性， 特别是规格(大尺寸) 和技术配套性方面与国外相比， 与生产实际要求相比， 还有相当大的差距。另外，复杂曲面的精密加工也一直是我国制造业发展的壁垒，而制造业的发展关系着国家经济的长远发展问题，仍需投入大量的研究。